
| 關鍵要素 | 十萬級(ISO 7級)核心要求 | 備注 | 
|---|---|---|
| 換氣次數(shù) | ≥15次/小時 | 最核心的參數(shù),直接決定潔凈度 | 
| 壓差控制 | 相鄰區(qū)域10-15Pa | 維持潔凈氣流方向,防止污染 | 
| 高效過濾器 | 末端HEPA過濾 | 過濾效率99.97%以上(對0.3μm) | 
| 氣流組織 | 上送下回/側(cè)回 | 保證氣流均勻,消除死角 | 
| 裝修材料 | 彩鋼板、圓弧角、自流平/PVC地面 | 光滑、不起塵、易清潔、無死角 | 
| 溫濕度 | T: 20-24°C±2℃, RH: 45-65%±5% | 根據(jù)實驗需求微調(diào) |